Počet záznamů: 1
What can we see at very low energies in the Scanning Electron Microscope?
- 1.
SYSNO ASEP 0022405 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název What can we see at very low energies in the Scanning Electron Microscope? Překlad názvu Co můžeme vidět v rastrovacím elektronovém mikroskopu na velmi nízkých energiích? Tvůrce(i) Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCID Zdroj.dok. Proceedings - Microscopy Conference 2005 - Dreiländertagung /6./. - Villigen : Paul Scherrer Institute, 2005 - ISSN 1019-6447 - ISBN N Rozsah stran s. 51 Poč.str. 1 s. Akce Dreiländertagung Microscopy Conference (MC 2005) Datum konání 28.08.2005-02.09.2005 Místo konání Davos Země CH - Švýcarsko Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CH - Švýcarsko Klíč. slova low energy electrons ; detection system ; scanning elektron microscope Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP GA102/05/2327 GA ČR - Grantová agentura ČR Anotace The Scanning Electron Microscope (SEM) is a widely used instrument, which is normally optimised to primary beam energy of about 15 keV, in contrast to the Low Energy Electron Microscope (LEEM) operated below 50 eV. There are great differences between these instruments, both in their illumination and detection parts. Nevertheless, contrast types can be expected in SEM similar to those observed in LEEM when the cathode lens (CL) principle, inherent to LEEM, is incorporated into the SEM. To detect all emitted electrons, auxiliary fields have to be used to divert the signal beam (accelerated to nearly the same energy as the primary electrons) from the optical axis. In our simple detection system the anode of the CL is formed by a YAG crystal with a tiny central opening, so that the slowest signal electrons can escape through the bore, but a small specimen tilt can secure acquisition even of specularly reflected slowest electrons. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2006
Počet záznamů: 1