Výzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje
1.
Projekt
Výzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje.
Název projektu
TF03000025
Poskytovatel
GA TA ČR
Doba řešení
2016 - 2019
Příjemce projektu
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
(Spolu)řešitel projektu
Čada
Katal.org.
CAV
Odkazy
(1) - Článek v odborném časopise
(1) - Prototyp, funkční vzorek
(1) - Užitný vzor, průmyslový vzor
Soubor
Projekty
Počet záznamů: 1
openseadragon
Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom
jak používáme cookies.