Počet záznamů: 1  

Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response

  1. 1.
    SYSNO0570231
    NázevOptical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response
    Tvůrce(i) Lambert, Nicolas (FZU-D) ORCID, RID
    Sung, Kil-dong (FZU-D)
    Mortet, Vincent (FZU-D) RID, ORCID
    Korespondující/seniorMortet, Vincent - Korespondující autor
    Zdroj.dok. Physica Status Solidi A : Applications and Materials Science. Roč. 220, č. 4 (2023). - : Wiley
    Číslo článku2200322
    Druh dok.Článek v odborném periodiku
    Grant CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760, XE - země EU
    EF16_019/0000760 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
    GA21-03538S GA ČR - Grantová agentura ČR, CZ - Česká republika
    Institucionální podporaFZU-D - RVO:68378271
    Jazyk dok.eng
    Země vyd.US
    Klíč.slova diamond growth * dynamic gas response * microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition (MWPECVD) * optical emission spectroscopy (OES)
    URLhttps://doi.org/10.1002/pssa.202200322
    Trvalý linkhttps://hdl.handle.net/11104/0349378
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.