Počet záznamů: 1
Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response
- 1.
SYSNO 0570231 Název Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response Tvůrce(i) Lambert, Nicolas (FZU-D) ORCID, RID
Sung, Kil-dong (FZU-D)
Mortet, Vincent (FZU-D) RID, ORCIDKorespondující/senior Mortet, Vincent - Korespondující autor Zdroj.dok. Physica Status Solidi A : Applications and Materials Science. Roč. 220, č. 4 (2023). - : Wiley Číslo článku 2200322 Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760, XE - země EU EF16_019/0000760 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika GA21-03538S GA ČR - Grantová agentura ČR, CZ - Česká republika Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Jazyk dok. eng Země vyd. US Klíč.slova diamond growth * dynamic gas response * microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition (MWPECVD) * optical emission spectroscopy (OES) URL https://doi.org/10.1002/pssa.202200322 Trvalý link https://hdl.handle.net/11104/0349378
Počet záznamů: 1