Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0570231
Název	Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response
Tvůrce(i)	Lambert, Nicolas (FZU-D)_{ORCID, RID} Sung, Kil-dong (FZU-D) Mortet, Vincent (FZU-D)_{RID, ORCID}
Korespondující/senior	Mortet, Vincent - Korespondující autor
Zdroj.dok.	Physica Status Solidi A : Applications and Materials Science. Roč. 220, č. 4 (2023). - : Wiley
Číslo článku	2200322
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760, XE - země EU
	EF16_019/0000760 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	GA21-03538S GA ČR - Grantová agentura ČR, CZ - Česká republika
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	US
Klíč.slova	diamond growth * dynamic gas response * microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition (MWPECVD) * optical emission spectroscopy (OES)
URL	https://doi.org/10.1002/pssa.202200322
Trvalý link	https://hdl.handle.net/11104/0349378

Počet záznamů: 1