Počet záznamů: 1
Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response
- 1.Lambert, Nicolas - Sung, Kil-dong - Mortet, Vincent
Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response.
Physica Status Solidi A. Roč. 220, č. 4 (2023), č. článku 2200322. ISSN 1862-6300. E-ISSN 1862-6319
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Impakt faktor: 2, rok: 2022
Způsob publikování: Omezený přístup
https://doi.org/10.1002/pssa.202200322
https://hdl.handle.net/11104/0349378
Počet záznamů: 1