Počet záznamů: 1  

Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response

  1. 1.
    Lambert, Nicolas - Sung, Kil-dong - Mortet, Vincent
    Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response.
    Physica Status Solidi A. Roč. 220, č. 4 (2023), č. článku 2200322. ISSN 1862-6300. E-ISSN 1862-6319
    Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
    Impakt faktor: 2, rok: 2022
    Způsob publikování: Omezený přístup
    https://doi.org/10.1002/pssa.202200322
    https://hdl.handle.net/11104/0349378
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.