Počet záznamů: 1  

Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response

  1. SYS0570231
    005
      
    20240402213701.3
    014
      
    $a 85137227241 $2 SCOPUS
    014
      
    $a 000847920600001 $2 WOS
    017
    70
    $a 10.1002/pssa.202200322 $2 DOI
    101
    0-
    $a eng
    102
      
    $a US
    200
    1-
    $a Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response
    215
      
    $a 5 s.
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0043977 $1 011 $a 1862-6300 $e 1862-6319 $1 200 1 $a Physica Status Solidi A $e Applications and Materials Science $v Roč. 220, č. 4 (2023) $1 210 $c Wiley
    608
      
    $a Article
    610
      
    $a diamond growth
    610
      
    $a dynamic gas response
    610
      
    $a microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition (MWPECVD)
    610
      
    $a optical emission spectroscopy (OES)
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0371799 $a Lambert $b Nicolas $p FZU-D $i Funkční materiály $j Functional Materials $y FR $q Czech Tech Univ, Fac Elect Engn, Prague 16627, Czech Republic $A 0000-0002-4432-8636 $B AAH-4569-2019 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0448285 $a Sung $b Kil-dong $p FZU-D $i Funkční materiály $j Functional Materials $y KR $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0302391 $a Mortet $b Vincent $p FZU-D $i Funkční materiály $j Functional Materials $y FR $z K $q Czech Tech Univ, Fac Biomed Engn, Kladno 27201, Czech Republic $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    856
      
    $u https://doi.org/10.1002/pssa.202200322 $9 RIV
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.