Počet záznamů: 1
Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response
SYS 0570231 005 20240402213701.3 014 $a 85137227241 $2 SCOPUS 014 $a 000847920600001 $2 WOS 017 70
$a 10.1002/pssa.202200322 $2 DOI 101 0-
$a eng 102 $a US 200 1-
$a Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response 215 $a 5 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0043977 $1 011 $a 1862-6300 $e 1862-6319 $1 200 1 $a Physica Status Solidi A $e Applications and Materials Science $v Roč. 220, č. 4 (2023) $1 210 $c Wiley 608 $a Article 610 $a diamond growth 610 $a dynamic gas response 610 $a microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition (MWPECVD) 610 $a optical emission spectroscopy (OES) 700 -1
$3 cav_un_auth*0371799 $a Lambert $b Nicolas $p FZU-D $i Funkční materiály $j Functional Materials $y FR $q Czech Tech Univ, Fac Elect Engn, Prague 16627, Czech Republic $A 0000-0002-4432-8636 $B AAH-4569-2019 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0448285 $a Sung $b Kil-dong $p FZU-D $i Funkční materiály $j Functional Materials $y KR $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0302391 $a Mortet $b Vincent $p FZU-D $i Funkční materiály $j Functional Materials $y FR $z K $q Czech Tech Univ, Fac Biomed Engn, Kladno 27201, Czech Republic $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 856 $u https://doi.org/10.1002/pssa.202200322 $9 RIV
Počet záznamů: 1