Počet záznamů: 1  

Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response

  1. 1.
    LAMBERT, N., SUNG, K.-d., MORTET, V. Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response. Physica Status Solidi A. 2023, 220(4), 2200322. ISSN 1862-6300. E-ISSN 1862-6319. Dostupné z: doi: 10.1002/pssa.202200322.
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.