Počet záznamů: 1
Si3Nx fázová destička pokrytá vodivou vrstvou
- 1.
SYSNO 0566394 Název Si3Nx fázová destička pokrytá vodivou vrstvou Překlad názvu Si3Nx phase plates covered by conductive layer Tvůrce(i) Sháněl, O. (CZ)
Schneider, M. (CZ)
Řiháček, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID
Radlička, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAIVyd. údaje 2022 Poddruh Funkční vzorek Int.kód APL-2022-15 Technické parametry Křemíkový čip nesoucí tenkou nitridovou membránu, která je pokrytá tenkou vodivou molybdenovou vrstvou. Otvor membrány je čtvercového tvaru o rozměru 100×100 µm. Z membrány je vytvořena fázová destička tím, že je v jejím středu udělaný otvor optimalizovaných rozměrů pomoci technologie fokusovaného iontového svazku. Tloušťka molybdenové vrstvy je optimalizovaná pro výsledný fázový posuv pi/2. Součástí funkčního vzorku je modifikovaný držák apertur, který umožňuje její umístění do zadní ohniskové roviny transmisního elektronového mikroskopu. Ekonomické parametry Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D. Název vlastníka Ústav přístrojové techniky, v. v. i., ThermoFisher Scientific Brno, a.s. Číselná identifikace APL-2022-15 Druh dok. Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR, CZ - Česká republika Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Jazyk dok. cze Země vyd. CZ Klíč.slova transmission electron microscopy * phase plate * silicon nitride * thin layers Spolupracující instituce ThermoFisher Scientific Brno (Česká republika) Trvalý link https://hdl.handle.net/11104/0337734
Počet záznamů: 1