Determination of elastic parameters of Si3N4thin films by means of anumerical approach and bulge tests

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0504377
Název	Determination of elastic parameters of Si3N4thin films by means of anumerical approach and bulge tests
Tvůrce(i)	Tinoco Navaro, Hector Andres (UFM-A)_ORCID Holzer, Jakub (UFM-A)_ORCID Pikálek, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Buchta, Zdeněk (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Lazar, Josef (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlupová, Alice (UFM-A)_{RID, ORCID} Kruml, Tomáš (UFM-A)_{RID, ORCID} Hutař, Pavel (UFM-A)_{RID, ORCID}
Korespondující/senior	Tinoco Navaro, Hector Andres - Korespondující autor
Zdroj.dok.	Thin Solid Films. Roč. 672, FEB (2019), s. 66-74. - : Elsevier
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	EF16_013/0001823 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
Institucionální podpora	UFM-A - RVO:68081723 ; UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	CH
Klíč.slova	Elastic properties * Bulge test * Thin film * Finite element analysis * Silicon nitride
URL	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0040609018308484?via%3Dihub
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0300846

Počet záznamů: 1