Počet záznamů: 1
Determination of elastic parameters of Si3N4thin films by means of anumerical approach and bulge tests
- 1.TINOCO NAVARO, H. A., HOLZER, J., PIKÁLEK, T., BUCHTA, Z., LAZAR, J., CHLUPOVÁ, A., KRUML, T., HUTAŘ, P. Determination of elastic parameters of Si3N4thin films by means of anumerical approach and bulge tests. Thin Solid Films. 2019, 672(FEB), 66-74. ISSN 0040-6090. E-ISSN 1879-2731. Dostupné z: doi: 10.1016/j.tsf.2018.12.039.
Počet záznamů: 1