Počet záznamů: 1  

Coordinate interferometric measuring system for positioning of a sample in electron-beam writer

  1. 1.
    SYSNO ASEP0467527
    Druh ASEPA - Abstrakt
    Zařazení RIVZáznam nebyl označen do RIV
    Zařazení RIVNení vybrán druh dokumentu
    NázevCoordinate interferometric measuring system for positioning of a sample in electron-beam writer
    Tvůrce(i) Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Holá, Miroslava (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Oulehla, Jindřich (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
    Valtr, M. (CZ)
    Klapetek, P. (CZ)
    Celkový počet autorů7
    Zdroj.dok.NanoScale 2016. 11th Seminar on Quantitative Microscopy (QM) and 7th Seminar on Nanoscale Calibration Standards and Methods. - Wroclaw : Wroclaw University of Technology, 2016
    Poč.str.1 s.
    Forma vydáníTištěná - P
    AkceNanoScale 2016. Seminar on Quantitative Microscopy (QM) /11./ and Seminar on Nanoscale Calibration Standards and Methods /7./
    Datum konání09.03.2016 - 11.03.2016
    Místo konáníWroclaw
    ZeměPL - Polsko
    Typ akceEUR
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.PL - Polsko
    Klíč. slovaSPM ; nanometrology ; nanoscale ; nanopositioning interferometry
    Vědní obor RIVBH - Optika, masery a lasery
    Institucionální podporaUPT-D - RVO:68081731
    AnotaceThe short-range scanning probe microscope (SPM) system developed in cooperation between Institute of Scientific Instruments (ISI) and Czech Metrology Institute (CMI) has been modified by new interferometers developed at ISI.
    PracovištěÚstav přístrojové techniky
    KontaktMartina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
    Rok sběru2017
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.