Počet záznamů: 1
Kalibrační standard pro metodu spektroskopii sekundárních elektronů v SEM
- 1.
SYSNO ASEP 0566540 Druh ASEP L - Prototyp, funkční vzorek Zařazení RIV G - Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek) Poddruh RIV Funkční vzorek Název Kalibrační standard pro metodu spektroskopii sekundárních elektronů v SEM Překlad názvu Calibration standard sample for secondary electron spectroscopy in SEM Tvůrce(i) Mika, Filip (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Pokorná, Zuzana (UPT-D) RID, ORCID, SAIRok vydání 2022 Int.kód APL-2022-11 Technické parametry Kalibrační vzorek obsahující mikrometrové struktury s různých materiálů vykazující odlišnou emisivitu sekundárních elektronů. Tloušťka jednotlivých materiálů je 150um a šířka proužků ze stříbra a chromu je 2 respektive 1 um. Ekonomické parametry Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika, Ph.D. Název vlastníka Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. IČ vlastníka 68081731 Kat.výsl.dle nákl. A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč Požad. na licenč. popl. A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek Jazyk dok. cze - čeština Země vlastníka CZ - Česká republika Klíč. slova test sample ; scanning electron microscope ; secondary electron spectrometer Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika Obor OECD Materials engineering CEP TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace Vzorek s litografickou strukturou bude sloužit ke kalibraci metody spektroskopie sekundárních elektronů s nanometrovým rozlišením v SEM. Bude obsahovat přesně definované oblasti jak plošně, tak do hloubky. Materiál oblastí bude volen tak, aby bylo možné nastavit parametry analýzy a snadno úhlově a energiově rozlišit získaný signál sekundárních elektronů. Překlad anotace The sample with a dedicated structure fabricated by electron beam lithography will be used in SEM for the calibration of nanometre-resolution secondary electron spectroscopy. It will contain areas of a precisely defined depth, width and materials composition allowing the observer to fine-tune the parameters of the analysis and easily resolve the secondary electron signal both in energy and angle. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2023
Počet záznamů: 1