Počet záznamů: 1
Changes of morphological, optical and electrical properties induced by hydrogen plasma on (0001) ZnO surface
- 1.
SYSNO ASEP 0548925 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Changes of morphological, optical and electrical properties induced by hydrogen plasma on (0001) ZnO surface Tvůrce(i) Remeš, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID
Artemenko, Anna (FZU-D) RID, ORCID
Ukraintsev, Egor (FZU-D) RID, ORCID
Sharma, Dhananjay K. (FZU-D) ORCID
Buryi, Maksym (FZU-D) RID, ORCID
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Potocký, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Szabó, Ondrej (FZU-D) ORCID, RID
Kuliček, J. (CZ)
Rezek, B. (CZ)
Poruba, A. (CZ)
Míčová, J. (SK)
Shu Hsu, H. (TW)Celkový počet autorů 13 Číslo článku 2100427 Zdroj.dok. Physica Status Solidi A : Applications and Materials Science. - : Wiley - ISSN 1862-6300
Roč. 219, č. 16 (2022)Poč.str. 7 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. DE - Německo Klíč. slova ZnO ; plasma ; XPS ; AFM ; PL Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus Obor OECD Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.) CEP EF16_019/0000760 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy GC19-02858J GA ČR - Grantová agentura ČR Výzkumná infrastruktura CzechNanoLab - 90110 - Vysoké učení technické v Brně Způsob publikování Open access s časovým embargem (01.08.2023) Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 000720624700001 EID SCOPUS 85119439391 DOI 10.1002/pssa.202100427 Anotace Plasma provides specific adjustment of solid-state surface properties offering an alternative to high temperature treatment. In this work, hydrogen plasma treatment of monocrystalline (0001) ZnO surface is studied in an inductively coupled plasma (ICP) reactor with reduced capacitively coupled plasma mode. We explain the crucial role of electrical grounding of the sample holder for plasma etching and related changes in the morphology, optical and electrical properties of surfaces exposed to electron and ion bombardment. The effects on the chemical composition of the surface are analyzed by (XPS), optical properties by photoluminescence spectroscopy, topography, roughness and surface potential by atomic force microscopy (AFM) and Kelvin probe force microscopy (KPFM). All methods show altered ZnO surface properties before and after plasma treatment strongly depending on the electrical potential of the holder. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2023 Elektronická adresa https://doi.org/10.1002/pssa.202100427
Počet záznamů: 1