Počet záznamů: 1
Annulární clona pro SEM
- 1.
SYSNO 0536585 Název Annulární clona pro SEM Překlad názvu Annular aperture for SEM Tvůrce(i) Radlička, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Řiháček, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID
Oral, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Seďa, B. (CZ)
Vašina, R. (CZ)Vyd. údaje 2020 Poddruh Funkční vzorek Int.kód APL-2020-08 Technické parametry Pro výrobu byl použitý standardní aperturní strip, který je tvořený nosnou křemíkovou vrstvou pokovenou 200 nm vrstvou Molybdenu. Anulární apertura byla vyrobena pomoci technologie iontového fokusovaného svazku. Ekonomické parametry Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz Název vlastníka Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Číselná identifikace APL-2020-08 Druh dok. Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR, CZ - Česká republika Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Jazyk dok. cze Země vyd. CZ Klíč.slova scanning electron microscope * diffraction * resolution * annular aperture Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0314349
Počet záznamů: 1