Počet záznamů: 1
Annulární clona pro SEM
- 1.
SYSNO ASEP 0536585 Druh ASEP L - Prototyp, funkční vzorek Zařazení RIV G - Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek) Poddruh RIV Funkční vzorek Název Annulární clona pro SEM Překlad názvu Annular aperture for SEM Tvůrce(i) Radlička, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Řiháček, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID
Oral, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Seďa, B. (CZ)
Vašina, R. (CZ)Celkový počet autorů 5 Rok vydání 2020 Int.kód APL-2020-08 Technické parametry Pro výrobu byl použitý standardní aperturní strip, který je tvořený nosnou křemíkovou vrstvou pokovenou 200 nm vrstvou Molybdenu. Anulární apertura byla vyrobena pomoci technologie iontového fokusovaného svazku. Ekonomické parametry Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz Název vlastníka Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. IČ vlastníka 68081731 Kat.výsl.dle nákl. A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč Požad. na licenč. popl. Z - Poskytovatel licence nepožaduje v některých případech licenční poplatek Číselná identifikace APL-2020-08 Jazyk dok. cze - čeština Země vlastníka CZ - Česká republika Klíč. slova scanning electron microscope ; diffraction ; resolution ; annular aperture Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika Obor OECD Electrical and electronic engineering CEP TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace Anulární clona, kterou lze vložit do mikroskopu místo standardní apertury. Anulární clona poskytuje profil svazku, který má ostřejší centrální maximum, ale více proudu je v bočních maximech proudového profilu svazku. Obraz vytvořený tímto svazkem umožňuje zobrazení jemnějších detailu, ale na druhou stranu se zhoršuje efekt šumu. Nedílnou součástí funkčního vzorku je algoritmus, který zmenšuje šum ve výsledných obrázcích založený na metodách strojového učení. Překlad anotace Annular aperture which can be placed into the microscopy instead of the current limiting apertures. The annular illumination provides sharp central peak, but higher fraction of the current is in outer tails of the current beam density profile. The image obtained by this type of beam provides imaging more details of the sample, by the noise effect increases. The denoising algorithm based on the machine learning approach is part of the functional sample. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2021
Počet záznamů: 1