Počet záznamů: 1
Effect of irradiation conditions by swift heavy ions on the microstructure and composition of PMMA
- 1.
SYSNO ASEP 0518743 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Effect of irradiation conditions by swift heavy ions on the microstructure and composition of PMMA Tvůrce(i) Romanenko, Oleksandr V. (UJF-V) ORCID, SAI
Havránek, Vladimír (UJF-V) RID, SAI, ORCID
Malinský, Petr (UJF-V) RID, ORCID, SAI
Slepička, P. (CZ)
Stammers, James H. (UJF-V)
Švorčík, V. (CZ)
Macková, Anna (UJF-V) RID, ORCID, SAI
Fajstavr, D. (CZ)Celkový počet autorů 8 Zdroj.dok. Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B. - : Elsevier - ISSN 0168-583X
Roč. 461, č. 12 (2019), s. 175-180Poč.str. 6 s. Forma vydání Tištěná - P Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. NL - Nizozemsko Klíč. slova heavy ion beam lithography ; PMMA film ; microstructuring ; shrinkage ; swelling Vědní obor RIV BG - Jaderná, atomová a mol. fyzika, urychlovače Obor OECD Atomic, molecular and chemical physics (physics of atoms and molecules including collision, interaction with radiation, magnetic resonances, Mössbauer effect) CEP EF16_013/0001812 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy LM2015056 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy GA19-02482S GA ČR - Grantová agentura ČR Způsob publikování Omezený přístup Institucionální podpora UJF-V - RVO:61389005 UT WOS 000501391200032 EID SCOPUS 85072937886 DOI 10.1016/j.nimb.2019.09.043 Anotace Our research is devoted to the shrinkage and swelling of PMMA film after micro-structuring with ion beam lithography. 10 MeV O4+ ions were used in the experiment. Parallel lines of 1 mm in length and 10 mu m in thickness were created. The number of scan cycles and ion fluence were varied. The influence of the irradiation regime on PMMA elemental composition in micro-structured parts and microstructure morphology were studied. It was shown that microstructures created in PMMA film undergo both shrinkage and swelling processes depending on both the scan speed and the fluence. For the same fluence, shrinkage appears at fast scan speeds and swelling at slow ones. The same phenomenon was found in relation to the fluence for the same scan speed. It was observed that PMMA film rupture caused by irradiation occurred prior to the start of the carbonization of the irradiated area. Pracoviště Ústav jaderné fyziky Kontakt Markéta Sommerová, sommerova@ujf.cas.cz, Tel.: 266 173 228 Rok sběru 2020 Elektronická adresa https://doi.org/10.1016/j.nimb.2019.09.043
Počet záznamů: 1