Počet záznamů: 1  

Education and research at clean room laboratory for silicon device technology at Masaryk University

    1.
    SYSNO ASEP0386448
    Druh ASEPC - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
    Zařazení RIVD - Článek ve sborníku
    NázevEducation and research at clean room laboratory for silicon device technology at Masaryk University
    Tvůrce(i) Mikulík, P. (CZ)
    Humlíček, J. (CZ)
    Hovorka, Miloš (UPT-D)
    Kulha, P. (CZ)
    Kadlec, F. (CZ)
    Celkový počet autorů5
    Zdroj.dok.Physic and Nanoscale. (Proceedings of the 10th IUVSTA International Summer School ). - Praha : IOP AS CR, 2012 / Fejfar A. ; Vetushka A. - ISBN 978-80-260-0619-0
    Poč.str.1 s.
    Forma vydáníTištěná - P
    AkcePhysics at Nanoscale. IUVSTA International Summer School /10./
    Datum konání30.05.2012-04.06.2012
    Místo konáníDevět skal
    ZeměCZ - Česká republika
    Typ akceEUR
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.CZ - Česká republika
    Klíč. slovasilicon device technology ; education and research ; clean room laboratory
    Vědní obor RIVBH - Optika, masery a lasery
    Institucionální podporaUPT-D - RVO:68081731
    AnotaceMasaryk University is operating a clean room laboratory for silicon device technology since April 2007. The laboratory has been designed in partnership with ON Semiconductor Czech Republic. The University covered the construction costs and the company provided guidance during zhe design and construction of the clean rooms and managed supply, installation and start-up of the technology equipment.
    PracovištěÚstav přístrojové techniky
    KontaktMartina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
    Rok sběru2013
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.

Přijmout všeNastaveníOdmítnout vše