Počet záznamů: 1
Differential interferometry with suppression of the influence of refractive index of air for nanometrology
- 1.
SYSNO ASEP 0385783 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Differential interferometry with suppression of the influence of refractive index of air for nanometrology Tvůrce(i) Holá, Miroslava (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Buchta, Zdeněk (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 5 Zdroj.dok. NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. - Ostrava : TANGER Ltd, 2012 - ISBN 978-80-87294-32-1 Rozsah stran s. 805-810 Poč.str. 6 s. Forma vydání Tištěná - P Akce NANOCON 2012. International Conference /4./ Datum konání 23.10.2012-25.10.2012 Místo konání Brno Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova refraktometry ; nanopositioning ; interferometry ; nanometrology Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR GPP102/11/P820 GA ČR - Grantová agentura ČR TA02010711 GA TA ČR - Technologická agentura ČR TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace We present an interferometric technique based on differential interferometry setup for measurement in the subnanometer scale in atmospheric conditions. The motivation for development of this ultraprecise technique is coming from the field of nanometrology. The key limiting factor in any optical measurement are fluctuations of the refractive index of air representing a source of uncertainty on the 1*E-6 level when evaluated indirectly from the physical parameters of the atmosphere. Our proposal is based on the concept of overdetermined interferometric setup where a reference length is derived from a mechanical frame made from a material with very low thermal coefficient on the 1*E-8 level. The technique allows to track the variations of the refractive index of air on-line directly in the line of the measuring beam and to compensate for the fluctuations. The optical setup consists of three interferometers sharing the same beam path where two measure differentially the displacement while the third evaluates the changes in the measuring range acting as a tracking refractometer. The principle is demonstrated on an experimental setup and a set of measurements describing the performance is presented. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2013
Počet záznamů: 1