Počet záznamů: 1
Comparison of three focus sensors for optical topography measurement of rough surfaces
- 1.
SYSNO ASEP 0511898 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Comparison of three focus sensors for optical topography measurement of rough surfaces Tvůrce(i) Šarbort, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Holá, Miroslava (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Pavelka, Jan (UPT-D) RID, SAI
Schovánek, P. (CZ)
Řeřucha, Šimon (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Oulehla, Jindřich (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Fořt, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 8 Zdroj.dok. Optics Express. - : Optical Society of America - ISSN 1094-4087
Roč. 27, č. 23 (2019), s. 33459-33473Poč.str. 15 s. Forma vydání Tištěná - P Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova profilometry ; stylus ; beam Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery Obor OECD Optics (including laser optics and quantum optics) CEP EF16_026/0008460 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Způsob publikování Open access Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 UT WOS 000495871300053 EID SCOPUS 85075269050 DOI 10.1364/OE.27.033459 Anotace The study compares three variants of focus sensors designed for the optical topography measurement of rough surface specimens with submicron accuracy. We present a theoretical analysis of the focus sensor principles and the experimental measurements with a single point laser probe. A low coherent illumination beam was provided by a monochromatic laser source and a rotating diffuser, which reduced the speckles generated by the rough surface. The reflected beam was modulated by three specific optical elements (axicon, double wedge prism, four spherical lenses) realized by a spatial light modulator. A digital camera detected the output intensity patterns that were evaluated by the intensity centroid method. The results showed a good coincidence of the surface profiles obtained by the three sensor variants with the root-mean-square deviations below one micron. We discuss the results obtained for several specimens with various surface roughness and compare the differences between the three focus sensor variants. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2020 Elektronická adresa https://www.osapublishing.org/oe/fulltext.cfm?uri=oe-27-23-33459&id=422804
Počet záznamů: 1