Počet záznamů: 1
Laser system for measuring MEMS relief created by the method of deep reactive ion etching
SYS 0498736 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103221209.6 014 $a 85059391006 $2 SCOPUS 014 $a 000455324600021 $2 WOS 017 $a 10.1117/12.2518098 $2 DOI 100 $a 20181227d m y slo 03 ba 101 $a eng $d eng 102 $a US 200 1-
$a Laser system for measuring MEMS relief created by the method of deep reactive ion etching 215 $a 7 s. $c P 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0498729 $1 010 $a 9781510626072 $1 011 $a 0277-786X $1 200 1 $a 21st Czech-Polish-Slovak Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics. (Proceedings of SPIE 10976) $1 210 $a Bellingham $c SPIE $d 2018 $1 702 1 $4 340 $a Zemánek $b Pavel 610 $a laser interferometry 610 $a DRIE 610 $a MEMS 610 $a depth measuring 700 -1
$3 cav_un_auth*0353830 $a Maňka $b Tadeáš $i D5: Mikrofotonika $j D5: Microphotonics $p UPT-D $w Microphotonics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101627 $a Šerý $b Mojmír $i D5: Mikrofotonika $j D5: Microphotonics $p UPT-D $w Microphotonics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0287343 $a Krátký $b Stanislav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101641 $a Zemánek $b Pavel $i D5: Mikrofotonika $j D5: Microphotonics $p UPT-D $w Microphotonics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1