Počet záznamů: 1
Laser system for measuring MEMS relief created by the method of deep reactive ion etching
- 1.MAŇKA, Tadeáš, ŠERÝ, Mojmír, KRÁTKÝ, Stanislav, ZEMÁNEK, Pavel. Laser system for measuring MEMS relief created by the method of deep reactive ion etching. In: ZEMÁNEK, Pavel, ed. 21st Czech-Polish-Slovak Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics. (Proceedings of SPIE 10976). Bellingham: SPIE, 2018, č. článku 109760M. ISBN 9781510626072. ISSN 0277-786X. Dostupné z: doi: 10.1117/12.2518098
Počet záznamů: 1