Počet záznamů: 1  

Correction of misalignment aberrations of a hexapole corrector using the differential algebra method

  1. 1.
    SYSNO ASEP0460210
    Druh ASEPC - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
    Zařazení RIVD - Článek ve sborníku
    NázevCorrection of misalignment aberrations of a hexapole corrector using the differential algebra method
    Tvůrce(i) Radlička, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Oral, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Celkový počet autorů2
    Zdroj.dok.Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. - Brno : Institute of Scientific Instruments CAS, 2016 / Mika Filip - ISBN 978-80-87441-17-6
    Rozsah strans. 50-53
    Poč.str.4 s.
    Forma vydáníTištěná - P
    AkceInternational Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /15./
    Datum konání29.05.2016 - 03.06.2016
    Místo konáníSkalský dvůr
    ZeměCZ - Česká republika
    Typ akceWRD
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.CZ - Česká republika
    Klíč. slovaelectron microscopy ; Schertzer theorem ; TEM ; STEM
    Vědní obor RIVJA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    CEPLO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    7H13015 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    Institucionální podporaUPT-D - RVO:68081731
    UT WOS000391254000023
    AnotaceOvercoming the limitations of the Schertzer theorem is a long story in electron microscopy. Although the basic principle of a spherical aberration (C3) correction was suggested as early as in 1947 the first experimental correctors of spherical aberration were only realized in the last decade of the 20th century. The recent multipole correctors are designed for high-energy
    TEM or STEM, where the corrector system enables reaching the atomic resolution. On the other
    hand, the corrector for low-energy SEM has been developed but this type of corrector must also contain chromatic aberration (Cc) correction to reduce the effect of the non-zero energy width. Recently, the energies of SEM reach 30 keV and transmission mode (TSEM) is a standard part of the instrument. Standard resolution in TSEM is about 0.6 nm and it is limited by C3. Reaching atomic resolution with this set-up is not a real expectation because of its instability, but the resolution of about 0.2 nm would increase the field of applications. Corrector for these type of instruments should be (a) simple, compact and cheap (b) only spherical aberration of the third,
    optionally the fifth order must be corrected (c) effect of the chromatic aberration may be reduced by energy filtering. We studied design based on Rose’s hexapole corrector.
    PracovištěÚstav přístrojové techniky
    KontaktMartina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
    Rok sběru2017
    Elektronická adresahttp://www.trends.isibrno.cz/
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.