Počet záznamů: 1
Correction of misalignment aberrations of a hexapole corrector using the differential algebra method
- 1.
SYSNO ASEP 0460210 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Correction of misalignment aberrations of a hexapole corrector using the differential algebra method Tvůrce(i) Radlička, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Oral, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 2 Zdroj.dok. Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. - Brno : Institute of Scientific Instruments CAS, 2016 / Mika Filip - ISBN 978-80-87441-17-6 Rozsah stran s. 50-53 Poč.str. 4 s. Forma vydání Tištěná - P Akce International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /15./ Datum konání 29.05.2016 - 03.06.2016 Místo konání Skalský dvůr Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova electron microscopy ; Schertzer theorem ; TEM ; STEM Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy 7H13015 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 UT WOS 000391254000023 Anotace Overcoming the limitations of the Schertzer theorem is a long story in electron microscopy. Although the basic principle of a spherical aberration (C3) correction was suggested as early as in 1947 the first experimental correctors of spherical aberration were only realized in the last decade of the 20th century. The recent multipole correctors are designed for high-energy
TEM or STEM, where the corrector system enables reaching the atomic resolution. On the other
hand, the corrector for low-energy SEM has been developed but this type of corrector must also contain chromatic aberration (Cc) correction to reduce the effect of the non-zero energy width. Recently, the energies of SEM reach 30 keV and transmission mode (TSEM) is a standard part of the instrument. Standard resolution in TSEM is about 0.6 nm and it is limited by C3. Reaching atomic resolution with this set-up is not a real expectation because of its instability, but the resolution of about 0.2 nm would increase the field of applications. Corrector for these type of instruments should be (a) simple, compact and cheap (b) only spherical aberration of the third,
optionally the fifth order must be corrected (c) effect of the chromatic aberration may be reduced by energy filtering. We studied design based on Rose’s hexapole corrector.Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2017 Elektronická adresa http://www.trends.isibrno.cz/
Počet záznamů: 1