Počet záznamů: 1
Structuring of diamond films using microsphere lithography
- 1.
SYSNO ASEP 0440224 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve SCOPUS Název Structuring of diamond films using microsphere lithography Tvůrce(i) Domonkos, Mária (FZU-D) RID
Ižák, Tibor (FZU-D) RID
Štolcová, L. (CZ)
Proška, J. (CZ)
Demo, Pavel (FZU-D) RID, SAI, ORCID
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAIZdroj.dok. Acta Polytechnica. - : České vysoké učení technické - ISSN 1210-2709
Roč. 54, č. 5 (2014), s. 320-324Poč.str. 5 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova nanostructuring ; diamond thin films ; polystyrene microspheres ; reactive ion etching ; scanning electron microscopy Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP GBP108/12/G108 GA ČR - Grantová agentura ČR Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 EID SCOPUS 84908372550 DOI 10.14311/AP.2014.54.0320 Anotace In this study, the structuring of micro- and nanocrystalline diamond films is demonstrated. The diamond films are structured using the technique of microsphere lithography followed by reactive ion etching. Specifically, this paper presents a four-step fabrication process: diamond deposition (microwave plasma assisted chemical vapor deposition), mask preparation (by the standard Langmuir-Blodgett method), mask modification and diamond etching. A self-assembled monolayer of monodisperse polystyrene (PS) microspheres with close-packed ordering is used as the primary template. Then the PS and the diamond films are processed in CCP plasma using various plasma chemistries. This fabrication method illustrates the preparation of large arrays of periodic and homogeneous hillock-like structures. The surface morphology of the processed diamond films is characterized by scanning electron microscopy and with the use of an atomic force microscope. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2015
Počet záznamů: 1