Počet záznamů: 1
Precision displacement interferometry with stabilization of wavelength on air
- 1.
SYSNO ASEP 0386128 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Precision displacement interferometry with stabilization of wavelength on air Tvůrce(i) Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Holá, Miroslava (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Buchta, Zdeněk (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 5 Zdroj.dok. Optics and Measurement 2012. Proceedings of the International Conference. - Praha : Institute of Plasma Physics, 2012 / Vít T. ; Kovačičinová J. ; Lédl V. - ISBN 978-80-87026-02-1 Rozsah stran s. 81-85 Poč.str. 5 s. Forma vydání Tištěná - P Akce Optics and Measurement 2012 Datum konání 16.10.2012-18.10.2012 Místo konání Liberec Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova Refractometry ; nanopositioning ; interferometry ; nanometrology Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR TA02010711 GA TA ČR - Technologická agentura ČR TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy GPP102/11/P820 GA ČR - Grantová agentura ČR Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 UT WOS 000326985500013 Anotace We present an interferometric technique based on differential interferometry setup for measurement in the subnanometer scale in atmospheric conditions. The motivation for development of this ultraprecise technique is coming from the field of nanometrology. The key limiting factor in any optical measurement are fluctuations of the refractive index of air representing a source of uncertainty on the 10'6 level when evaluated indirectly from the physical parameters of the atmosphere. Our proposal is based on the concept of overdetermined interferometric setup where a reference length is derived from a mechanical frame made from a material with very low thermal coefficient on the 1 O'8 level. The technique allows to track the variations of the refractive index of air on-line directly in the line of the measuring beam and to compensate for the fluctuations. The optical setup consists of three interferometers sharing the same beam path where two measure differentially the displacement while the third represents a reference for stabilization of the wavelength of the laser source. The principle is demonstrated on an experimental setup and a set of measurements describing the performance is presented. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2013
Počet záznamů: 1