Počet záznamů: 1
Deposition of Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. thin films by double RF hollow cathode plasma jet system
- 1.
SYSNO ASEP 0319065 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Deposition of BaxSr1-xTiO3 thin films by double RF hollow cathode plasma jet system Překlad názvu Depozice tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 pomocí systému dvou vysokofrekvenčních plazmových trysek s efektem duté katody Tvůrce(i) Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Virostko, Petr (FZU-D)
Tichý, M. (CZ)
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Adámek, Petr (FZU-D) RID, ORCID
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Deyneka, Alexander (FZU-D)
Churpita, Olexandr (FZU-D) RID, ORCID
Valvoda, V. (CZ)
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCIDZdroj.dok. Contributions to Plasma Physics. - : Wiley - ISSN 0863-1042
Roč. 48, 5-7 (2008), s. 515-520Poč.str. 6 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. DE - Německo Klíč. slova BSTO ; ferroelectric films ; hollow cathode ; Langmuir probe ; optical emission spectroscopy ; plasma jet Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP KAN301370701 GA AV ČR - Akademie věd KJB100100707 GA AV ČR - Akademie věd 1QS100100563 GA AV ČR - Akademie věd GA202/06/0776 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) UT WOS 000258126900022 DOI 10.1002/ctpp.200810083 Anotace Low-pressure plasma jet system with two hollow cathodes was used for deposition of BaxSr1-xTiO3 (BSTO) ferroelectric thin films. In the experiment, the composition of BSTO films was controlled by magnitude of average RF power applied on particular plasma jet guns with STO and BTO nozzles. X-ray diffraction proved that BSTO thin films were polycrystalline with perovskite structure and measurement of dielectric properties showed ferroelectric hysteresis loop at room temperature. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2009
Počet záznamů: 1