Počet záznamů: 1
Digital control of beams position in high-resolution interferometer for calibration of precise length sensors
- 1.
SYSNO ASEP 0316646 Druh ASEP A - Abstrakt Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Zařazení RIV Není vybrán druh dokumentu Název Digital control of beams position in high-resolution interferometer for calibration of precise length sensors Překlad názvu Číslicové řízení polohy svazků v interferometru s vysokým rozlišením pro kalibrace přesných délkových senzorů Tvůrce(i) Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Šmíd, Radek (UPT-D) RID, SAI
Buchta, Zdeněk (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Čížek, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAIZdroj.dok. NanoScale 2008 - 8th Seminar on Quantitative Microscopy (QM) and 4th Seminar on Nanoscale Calibration Standards and Methods. - Torino : Istituto Nazionale di Ricerca Metrologica, 2008 - ISBN N
S. 44Poč.str. 1 s. Akce NanoScale 2008 Datum konání 22.09.2008-23.09.2008 Místo konání Torino Země IT - Itálie Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. IT - Itálie Klíč. slova high resolution interferometry ; nanometrology Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP IAA200650504 GA AV ČR - Akademie věd LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy 2C06012 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy GA102/07/1179 GA ČR - Grantová agentura ČR 2A-1TP1/127 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu 2A-3TP1/113 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu FT-TA3/133 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Anotace In metrology applications of laser interferometers like a scale calibration of capacitive or inductive sensors, strictly linear positioning of the measuring mirror of the interferometer is necessary. It is maintained usually by a stage, which is based on principle of linear guide ways with ball carrier bearings. But possible imperfection of guides of the travel stage can cause deviations of the mirror plane from the right angle to the axis of traveling. Mentioned angle deviations lead to distortion of interference fringes in the output of the interferometer and by other words it causes non-linearity of the interferometer scale. We present a method, which eliminates the problem by a special configuration of the interferometer and continual monitoring of spatial position of beams in the interferometer when the mirror is positioned. It works with condition that the mirror can be slightly tilted by piezoelectric actuators in servo-loop mode with respect to detected spatial position. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2009
Počet záznamů: 1