Recent challenges in micromachining of wide-bandgap materials and fabrication of MEMS for harsh environments

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0559035
Název	Recent challenges in micromachining of wide-bandgap materials and fabrication of MEMS for harsh environments
Tvůrce(i)	Zehetner, J. (AT) Vanko, G. (SK) Dohnal, F. (AT) Izsák, T. (SK) Držík, M. (SK) Kromka, Alexander (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Proceedings of ADEPT - ADEPT 2022. S. 7-12. - Žilina : University of Žilina, 2022 / Feiler M. ; Ziman M. ; Kováčová S. ; Kováč, jr. J.
Konference	10th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies - ADEPT 2022, 20.06.2022 - 24.06.2022, Tatranská Lomnica
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	8X20035 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	SK
Klíč.slova	harsh environment * diamond * SiC * MEMS * HEMT * laser ablation
Trvalý link	https://hdl.handle.net/11104/0332450

Počet záznamů: 1