Počet záznamů: 1
Recent challenges in micromachining of wide-bandgap materials and fabrication of MEMS for harsh environments
- 1.
SYSNO ASEP 0559035 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Recent challenges in micromachining of wide-bandgap materials and fabrication of MEMS for harsh environments Tvůrce(i) Zehetner, J. (AT)
Vanko, G. (SK)
Dohnal, F. (AT)
Izsák, T. (SK)
Držík, M. (SK)
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 6 Zdroj.dok. Proceedings of ADEPT - ADEPT 2022. - Žilina : University of Žilina, 2022 / Feiler M. ; Ziman M. ; Kováčová S. ; Kováč, jr. J. - ISBN 978-80-554-1884-1 Rozsah stran s. 7-12 Poč.str. 5 s. Forma vydání Tištěná - P Akce 10th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies - ADEPT 2022 Datum konání 20.06.2022 - 24.06.2022 Místo konání Tatranská Lomnica Země SK - Slovensko Typ akce EUR Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. SK - Slovensko Klíč. slova harsh environment ; diamond ; SiC ; MEMS ; HEMT ; laser ablation Vědní obor RIV JB - Senzory, čidla, měření a regulace Obor OECD Materials engineering CEP 8X20035 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Anotace The properties of SiC and diamond make them attractive materials for MEMS and sensor devices. We innovated specific laser ablation techniques to fabricate membranes and cantilevers made of SiC or nano-(micro-) crystalline diamond films grown on Si/SiO2 substrates by microwave chemical vapour deposition (MWCVD). We started research to generate surface moulds to grow corrugated diamond films for membranes and cantilevers. A software tool was developed to support the design of micromechanical cantilevers. We can measure deformation and resonant frequency of diamond cantilevers and identify the global mechanical properties. A benchmark against finite element simulations enables an inverse identification of the specific system parameters and simplifies the characterization procedure. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2023
Počet záznamů: 1