Počet záznamů: 1
SMV-2021-03: Vývoj testovacích preparátů pro REM
- 1.
SYSNO 0545142 Název SMV-2021-03: Vývoj testovacích preparátů pro REM Překlad názvu SMV-2021-03: Development of test specimens for SEM Tvůrce(i) Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAIVyd. údaje Brno: Tescan Brno, s.r.o., 2021 Druh dok. Výzkumná zpráva Grant neveřejné zdroje Jazyk dok. cze Země vyd. CZ Klíč.slova relief structure * e-beam lithography * silicon etching * microlithography Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0321890
Počet záznamů: 1