Počet záznamů: 1
Fabrication of diamond membranes by femtosecond laser ablation for MEMS sensor applications
- 1.
SYSNO ASEP 0540754 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Fabrication of diamond membranes by femtosecond laser ablation for MEMS sensor applications Tvůrce(i) Zehetner, J. (AT)
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Izsák, Tibor (FZU-D) ORCID
Vanko, G. (SK)
Gajdošová, L. (AT)
Kasemann, S. (AT)Celkový počet autorů 6 Číslo článku 13 Zdroj.dok. Proceedings of 4th International Conference nanoFIS 2020 - Functional Integrated nanoSystems. - Basel : MDPI, 2020 / Köck A. ; Deluca M. Rozsah stran s. 1-3 Poč.str. 3 s. Forma vydání Online - E Akce International Conference on Functional Integrated nano Systems (nanoFIS 2020) /4./ Datum konání 02.11.2020 - 04.11.2020 Místo konání Online Země AT - Rakousko Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CH - Švýcarsko Klíč. slova diamond ; GaN ; MEMS ; laser ablation Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus Obor OECD Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.) CEP 8X20035 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 DOI 10.3390/proceedings2020056013 Anotace We present the feasibility to fabricate membranes and cantilevers made of diamond grown on Si/SiO2 substrates by femtosecond laser ablation. In the ablation process, we generated nano‐ and microstructures on the membrane surface. Such laser induced periodic surface structures (LIPSS) are useful in tailoring the surface chemistry. In combination with wet‐ or reactive ion etching smooth membranes were generated. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2021
Počet záznamů: 1