Počet záznamů: 1
Fabrication of diamond membranes by femtosecond laser ablation for MEMS sensor applications
- 1.Zehetner, J., Kromka, A., Izsák, T., Vanko, G., Gajdošová, L., Kasemann, S. Fabrication of diamond membranes by femtosecond laser ablation for MEMS sensor applications. In: KÖCK, A., DELUCA, M., eds. Proceedings of 4th International Conference nanoFIS 2020 - Functional Integrated nanoSystems. Basel: MDPI, 2020, s. 1-3, č. článku 13. E-ISSN 2504-3900. Dostupné z: doi: 10.3390/proceedings2020056013
Počet záznamů: 1