Počet záznamů: 1
Laser micromachining of glass, silicon, and ceramics
- 1.
SYSNO ASEP 0449555 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Laser micromachining of glass, silicon, and ceramics Tvůrce(i) Řiháková, L. (CZ)
Chmelíčková, Hana (FZU-D) RIDZdroj.dok. Advances in Materials Science and Engineering. - : Hindawi - ISSN 1687-8434
Roč. 2015, Feb (2015), s. 584952Poč.str. 6 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova laser micromachining of materials ; laser material treatment Vědní obor RIV JP - Průmyslové procesy a zpracování Obor OECD Materials engineering Způsob publikování Open access Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 000355113200001 EID SCOPUS 84925610133 DOI 10.1155/2015/584952 Anotace A brief review is focused on laser micromachining of materials. Micromachining of materials is highly widespread method used in many industries, including semiconductors, electronic, medical, and automotive industries, communication, and aerospace. This method is a promising tool for material processing with micron and submicron resolution. In this paper micromachining of glass, silicon, and ceramics is considered. Interaction of these materials with laser radiation and recent research held on laser material treatment is provided. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2016 Elektronická adresa http://hdl.handle.net/11104/0251085
Počet záznamů: 1