Počet záznamů: 1
Short-range six-axis interferometer controlled positioning for local probe microscopy
- 1.
SYSNO ASEP 0422393 Druh ASEP A - Abstrakt Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Zařazení RIV Není vybrán druh dokumentu Název Short-range six-axis interferometer controlled positioning for local probe microscopy Tvůrce(i) Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Buchta, Zdeněk (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Čížek, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Oulehla, Jindřich (UPT-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 6 Zdroj.dok. 21th annual International Conference on Advanced Laser Technologies ALT´13. Book of Abstracts. - Budva : University of Montenegro, 2013 Poč.str. 1 s. Forma vydání Online - E Akce ALT´13. Annual International Conference on Advanced Laser Technologies /21./ Datum konání 16.09.2013-20.09.2013 Místo konání Budva Země ME - Černá Hora Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. ME - Černá Hora Klíč. slova SIX-AXIS interferometer ; local probe microscopy Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP GPP102/11/P820 GA ČR - Grantová agentura ČR ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy EE2.4.31.0016 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy TA02010711 GA TA ČR - Technologická agentura ČR TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace We present a design of nanometrology measuring setup is part of a design of the national standard for nanometrology to be operated by the Czech Metrology Institute (CMI) in Brno, Czech Republic. The system uses a full six-axis interferometric measurement of the position of the sample holder with six independent interferometers. The concept of nanometrology system combining local probe microscopy and interferometric measuring and controlled positioning presented here represents one of a variety of possible approaches. A small range system based on a commercial nanopositioning stage driven by piezoelectric transducers with the overall range 200×200×10 μm was used. Due to the geometric configuration with a wide basis of the two units measuring in y-direction and the three measuring in z-direction the angle resolution of the whole setup goes down to tens of nanoradians and servo control of in all six axes of freedom allows to keep guidance errors below 100 nrad. Thermally compensated miniature interferometric units with fiber-optic light delivery and integrated homodyne detection system were developed especially for this system. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2014
Počet záznamů: 1