Počet záznamů: 1
Estimation of mechanical properties of thin Al surface layer
- 1.
SYSNO ASEP 0387893 Druh ASEP K - Konferenční příspěvek (lokální konf.) Zařazení RIV Stať ve sborníku Název Estimation of mechanical properties of thin Al surface layer Tvůrce(i) Petráčková, Klára (UFM-A)
Kuběna, Ivo (UFM-A) RID, ORCID
Truhlář, Michal (UFM-A)
Náhlík, Luboš (UFM-A) RID, ORCID
Kruml, Tomáš (UFM-A) RID, ORCIDCelkový počet autorů 5 Zdroj.dok. 14th International conference Applied Mechanics 2012 - Conference proceedings. - Plzeň : Západočeská univerzita v Plzni, 2012 / Lukeš V. ; Hajžman M. ; Byrtus M. - ISBN 978-80-261-0097-3
S. 117-120Poč.str. 4 s. Forma vydání Tištěná - P Akce Applied Mechanics 2012 Datum konání 16.04.2012-18.04.2012 Místo konání Plzeň Země CZ - Česká republika Typ akce EUR Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova microcompression ; thin film properties ; focused ion beam ; FEM modelling Vědní obor RIV JL - Únava materiálu a lomová mechanika Institucionální podpora UFM-A - RVO:68081723 CEZ AV0Z20410507 - UFM-A (2005-2011) Anotace The paper describes a new method for testing of thin layers, so-called microcompression test. As an example determination of Al thin film properties deposited on Si substrate is introduced in the paper. Microcompression combines the sample preparation with the use of focused ion beam (FIB) with a compression test carried out using nanoindenter. Cylindrical specimens (pillars) were prepared in Al film using FIB. The typical diameter of pillars was about 1.3 μm and their height was about 2 μm. The results depend on crystallographic orientation of pillar. Stress-strain curves of the thin film were obtained. Experimentally measured data on pillars needs correction to obtain undistorted material properties of Al thin film. A necessary correction using finite element modeling is suggested in the paper. The paper contributes to a better characterization of very thin surface layers and determination of their mechanical properties. Pracoviště Ústav fyziky materiálu Kontakt Yvonna Šrámková, sramkova@ipm.cz, Tel.: 532 290 485 Rok sběru 2013
Počet záznamů: 1