Počet záznamů: 1
INFLUENCE OF PLASMA DEPOSITION PARAMETERS ON INCORPORATION OF HYDROGEN OR NITROGEN INTO DLC
- 1.
SYSNO ASEP 0368755 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Název INFLUENCE OF PLASMA DEPOSITION PARAMETERS ON INCORPORATION OF HYDROGEN OR NITROGEN INTO DLC Tvůrce(i) Muresan, M. (CZ)
Zajíčková, L. (CZ)
Buršíková, V. (CZ)
Franta, D. (CZ)
Nečas, D. (CZ)
Peřina, Vratislav (UJF-V) RID
Mikšová, Romana (UJF-V) RID, ORCID, SAIZdroj.dok. 12th International Balkan Workshop on Applied Physics. - Constanta : Ovidius University of Constanta, 2011 Rozsah stran s. 4299-4308 Poč.str. 10 s. Akce 12th International Balkan Workshop on Applied Physics Datum konání 06.07.2011-08.07.2011 Místo konání Constnta Země RO - Rumunsko Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. RO - Rumunsko Klíč. slova Diamond-like carbon ; Amorphous hydrogenated carbon ; Optical properties Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech CEP GA104/09/1269 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z10480505 - UJF-V (2005-2011) Anotace Interesting properties of diamond-like carbon (DLC) coatings such as high hardness, low friction coefficient, high thermal conductivity and wide band gaps have increased the number of industrial partners to research ways of producing DLC layers with chemical inertness, high gas barrier properties and high biocompatibility. The aim of the experiments was to characterize and compare the properties of diamond-like carbon films prepared from different mixtures such as CH4/H2, CH4/H2/N2 and CH4/Ar from a radiofrequency capacitively-coupled discharge at 13.56 MHz. Parameters like concentration, pressure, power and time were changed to vary film properties. The films were optically characterized by UV-VIS reflectometry, ellipsometry. Pracoviště Ústav jaderné fyziky Kontakt Markéta Sommerová, sommerova@ujf.cas.cz, Tel.: 266 173 228 Rok sběru 2012
Počet záznamů: 1