Počet záznamů: 1
Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese
- 1.
SYSNO ASEP 0314417 Druh ASEP K - Konferenční příspěvek (lokální konf.) Zařazení RIV Stať ve sborníku Název Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese Překlad názvu Measurement of mechanical properties of thin films by nanocompression Tvůrce(i) Kuběna, Ivo (UFM-A) RID, ORCID
Kruml, Tomáš (UFM-A) RID, ORCID
Hutař, Pavel (UFM-A) RID, ORCID
Boháč, Petr (FZU-D) RID, ORCID
Stranyánek, Martin (FZU-D)
Čtvrtlík, Radim (FZU-D) RID, ORCID
Pánek, P. (CZ)
Vystavěl, T. (CZ)Zdroj.dok. Vrstvy a povlaky 2008. - Rožnov pod Radhoštěm : LISS, a.s., 2008 - ISBN 978-80-969310-7-1
S. 103-108Poč.str. 6 s. Akce Vrstvy a povlaky 2008 Datum konání 29.09.2008-30.09.2008 Místo konání Rožnov pod Radhoštěm Země CZ - Česká republika Typ akce EUR Jazyk dok. cze - čeština Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova nanocompression ; Al thin film ; yield point Vědní obor RIV JJ - Ostatní materiály CEZ AV0Z20410507 - UFM-A (2005-2011) AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Anotace Technikou fokusovaných iontových byly připraveny malé kompresní válcové vzorky z tenké vrstvy Al-1.5%Cu. Tyto vzorky byly deformovány v kompresi s použitím nanoindentoru a plochého diamantového hrotu. Byly tak získány závislosti napětí-deformace s poměrně vysokou přesností. Překlad anotace Mechanical properties of thin films are not easy to be measured. This is particularly true in the case of plastic properties as the yield point, the work hardening rate or the ultimate stress. Nevertheless, such parameters are needed e.g. in the design of integrated circuits where the thermal stresses may lead to mechanical failure of the component. We applied two modern experimental facilities, the focused ion beam and the nanoindentation for exact measurement of plastic properties of a Al-1.5%Cu thin film prepared by PVD, used for electrical connection of integrated circuits. By FIB milling, cylindrical specimens were prepared. The height of the specimens was equal to the film thickness (2 m) and their diameter was about 1.3 m. These specimens were subjected to the compressive loading using the nanoindenter equipped by a flat punch. Stress-strain curves of the film were obtained rather precisely. Pracoviště Ústav fyziky materiálu Kontakt Yvonna Šrámková, sramkova@ipm.cz, Tel.: 532 290 485 Rok sběru 2009
Počet záznamů: 1