Characterization of RF-spittered self-polarized PZT thin films for sensors arrays

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO ASEP	0134011
Druh ASEP	J - Článek v odborném periodiku
Zařazení RIV	J - Článek v odborném periodiku
Poddruh J	Ostatní články
Název	Characterization of RF-spittered self-polarized PZT thin films for sensors arrays
Tvůrce(i)	Suchaneck, G. (DE) Lin, W. M. (DE) Koehler, R. (DE) Sandner, T. (DE) Gerlach, G. (DE) Krawietz, R. (DE) Pompe, W. (DE) Deineka, Alexander (FZU-D) Jastrabík, Lubomír (FZU-D)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Vacuum. - : Elsevier - ISSN 0042-207X Roč. 66, - (2002), s. 473-478
Poč.str.	6 s.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	GB - Velká Británie
Klíč. slova	self-polarized PZT ; polarization and refractive index profiles ; IR sensor array
Vědní obor RIV	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP	LN00A015 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	GA202/00/1425 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z1010914 - FZU-D
Anotace	In this work, a complex investigation of film composition, microstructure and physical properties of RF-sputtered self-polarized PZT thin filůms for IR sensor arrays was carried out. IR-radiation detector detectivity and noise equivalent temperature difference were calculated.
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2003

Počet záznamů: 1