Počet záznamů: 1
Remarks to angular and energy sensitivity of image contrast formation in low energy SEM
- 1.
SYSNO ASEP 0022547 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Remarks to angular and energy sensitivity of image contrast formation in low energy SEM Překlad názvu Poznámky k úhlové a energiové citlivosti tvorby obrazového kontrastu v nízkoenergiovém REM Tvůrce(i) Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCID Zdroj.dok. Proceedings - 7th Multinational Congress on Microscopy (MCM 2005). - Ljubljana : Jožef Stefan Institute, 2005 - ISBN 961-6303-69-4 Rozsah stran s. 95-98 Poč.str. 4 s. Akce Multinational Congress on Microscopy /7./ Datum konání 26.06.2005-30.06.2005 Místo konání Portorož Země SI - Slovinsko Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. SI - Slovinsko Klíč. slova low energy electrons ; collection efficiency ; scanning electron microscope Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP IAA1065304 GA AV ČR - Akademie věd Anotace Modern Scanning Electron Microscopes (SEM) are capable of providing high image resolution in units of nm even at low energies down to hundreds of eV. If the cathode lens principle is employed in a conventional SEM column, a similar resolution is achievable at very low energies in the order of tens or units of eV. The final contrast in the image is a product of interaction of primary electrons with the target but also the collection efficiency of detector with its energy and angular distributions. In order to arrive at a high signal to noise ratio (SNR), the signal species should be caught as many as possible but formation of a high contrast might require selecting only a small part of the emission spectra and putting up with a lowered SNR. Promising in this respect are multichannel parallel detectors. We would like to attract attention to energy and angular distributions of both emission and collection of signal electrons because their importance increases at low energies. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2006
Počet záznamů: 1