Počet záznamů: 1
Ion irradiation-induced localized stress relaxation in W thin film revealed by cross-sectional X-ray nanodiffraction
- 1.
SYSNO ASEP 0541788 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Ion irradiation-induced localized stress relaxation in W thin film revealed by cross-sectional X-ray nanodiffraction Tvůrce(i) Hlushko, K. (AT)
Macková, Anna (UJF-V) RID, ORCID, SAI
Zálešák, J. (AT)
Burghammer, M. (FR)
Davydok, A. (DE)
Krywka, C. (DE)
Daniel, R. (AT)
Keckes, J. (AT)
Todt, J. (AT)Celkový počet autorů 9 Číslo článku 138571 Zdroj.dok. Thin Solid Films. - : Elsevier - ISSN 0040-6090
Roč. 722, MAR (2021)Poč.str. 6 s. Forma vydání Tištěná - P Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CH - Švýcarsko Klíč. slova Tungsten thin film ; Ion irradiation ; residual stress Vědní obor RIV BG - Jaderná, atomová a mol. fyzika, urychlovače Obor OECD Nano-materials (production and properties) Výzkumná infrastruktura CzechNanoLab - 90110 - Vysoké učení technické v Brně Způsob publikování Omezený přístup Institucionální podpora UJF-V - RVO:61389005 UT WOS 000632481900003 EID SCOPUS 85101013325 DOI 10.1016/j.tsf.2021.138571 Anotace The influence of ion irradiation on residual stress and microstructure of thin films is not fully understood. Here, 5 MeV Si2+ ions were used to irradiate a 7 mu m thick tungsten film prepared by magnetron sputtering. Cross-sectional X-ray nanodiffraction and electron microscopy analyses revealed a depth-localized relaxation of inplane compressive residual stresses from -2.5 to - 0.75 GPa after the irradiation, which is correlated with the calculated displacements per atom within a similar to 2 mu m thick film region. The relaxation can be explained by the irradiation-induced removal of point defects from the crystal lattice, resulting in a reduction of strains of the 3rd order, manifested by a decrease of X-ray diffraction peak broadening, an increase of peak intensities and a decrease of lattice parameter. The results indicate that ion irradiation enables control over the residual stress state at distinct depths in the material. Pracoviště Ústav jaderné fyziky Kontakt Markéta Sommerová, sommerova@ujf.cas.cz, Tel.: 266 173 228 Rok sběru 2022 Elektronická adresa https://doi.org/10.1016/j.tsf.2021.138571
Počet záznamů: 1