Počet záznamů: 1
Statistical Coulomb interactions in multi-beam SEM
- 1.
SYSNO ASEP 0524976 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Statistical Coulomb interactions in multi-beam SEM Tvůrce(i) Stopka, Jan (UPT-D) ORCID, SAI
Kruit, P. (NL)Celkový počet autorů 2 Číslo článku 1942021 Zdroj.dok. International Journal of Modern Physics. A - ISSN 0217-751X
Roč. 34, č. 36 (2019)Poč.str. 11 s. Forma vydání Tištěná - P Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. SG - Singapur Klíč. slova coulomb interactions ; trajectory displacement ; multi-beam SEM ; electron optics ; slice method Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika Obor OECD Optics (including laser optics and quantum optics) CEP TE01020118 GA TA ČR - Technologická agentura ČR LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Způsob publikování Omezený přístup Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 UT WOS 000516718800022 EID SCOPUS 85076546405 DOI 10.1142/S0217751X19420211 Anotace Statistical Coulomb interactions in conventional scanning electron microscopy mostly affect the probe size via energy spread and virtual source broadening in the emitter vicinity. However, in a multi-beam probe forming system such as a multi-beam scanning electron microscopes (MBSEM), the trajectory displacement due to interactions in the whole column can give a contribution to the final probe size. For single-beam systems, this can be expressed using approximate formulae for the total trajectory displacement in a beam segment (Jansen's theory) or by integrating contributions of infinitesimally thin beam slices (the slice method). We build on Jansen's theory of statistical Coulomb interactions and develop formulae for the trajectory displacement in a multi-beam system. We also develop a more precise semi-analytical result using the slice method. We compare both approaches with a Monte Carlo simulation and show a good agreement with the results of the slice method. Finally, we discuss the implications of our results for the optical design of multi-beam SEM. In a multi-beam with probe size dominated by Coulomb interactions, an increase in the number of beamlets does not necessarily provide an increase of throughput, because the probe size is limited by the total current. Furthermore, we disprove the notion of the fewer the crossovers the less the Coulomb interactions by showing the quadratic dependence of trajectory displacement on segment length. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2021 Elektronická adresa https://www.worldscientific.com/doi/10.1142/S0217751X19420211
Počet záznamů: 1