Measurement and modeling of plasma parameters in reactive high-power impulse magnetron sputtering of Ti in Ar/O.sub.2./sub. mixtures

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0486980
Název	Measurement and modeling of plasma parameters in reactive high-power impulse magnetron sputtering of Ti in Ar/O₂ mixtures
Tvůrce(i)	Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Lundin, D. (FR) Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Journal of Applied Physics. Roč. 121, č. 17 (2017), s. 1-7. - : AIP Publishing
Číslo článku	171913
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	GA15-00863S GA ČR - Grantová agentura ČR, CZ - Česká republika
	608800, XE - země EU
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	US
Klíč.slova	reactive sputtering * HiPIMS * Langmuir probe * R-IRM model * plasma density * electron temperature
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0281686

Počet záznamů: 1