Souřadnicový interferometrický systém pro odměřování polohy vzorku elektronového litografu

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0449271
Název	Souřadnicový interferometrický systém pro odměřování polohy vzorku elektronového litografu
Překlad názvu	Coordinate interferometric system for measuring the position of a sample of the electron lithograph
Tvůrce(i)	Holá, Miroslava (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Lazar, Josef (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Čížek, Martin (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Řeřucha, Šimon (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Číp, Ondřej (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Zdroj.dok.	Sborník příspěvků multioborové konference LASER 55. S. 16-17. - Brno : Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2015
Konference	LASER 55, Třešť, 21.10.2015-23.10.2015
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	GB14-36681G GA ČR - Grantová agentura ČR
	TA02010711 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
	TA01010995 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
	TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
	LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	cze
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	coherence optics * interferometry * coherent laser
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0250860

Počet záznamů: 1