Počet záznamů: 1
Souřadnicový interferometrický systém pro odměřování polohy vzorku elektronového litografu
- 1.
SYSNO ASEP 0449271 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Souřadnicový interferometrický systém pro odměřování polohy vzorku elektronového litografu Překlad názvu Coordinate interferometric system for measuring the position of a sample of the electron lithograph Tvůrce(i) Holá, Miroslava (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Čížek, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Řeřucha, Šimon (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 5 Zdroj.dok. Sborník příspěvků multioborové konference LASER 55. - Brno : Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2015 - ISBN 978-80-87441-16-9 Rozsah stran s. 16-17 Poč.str. 2 s. Forma vydání Tištěná - P Akce LASER 55 Datum konání 21.10.2015-23.10.2015 Místo konání Třešť Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. cze - čeština Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova coherence optics ; interferometry ; coherent laser Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP GB14-36681G GA ČR - Grantová agentura ČR TA02010711 GA TA ČR - Technologická agentura ČR TA01010995 GA TA ČR - Technologická agentura ČR TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace Tento projekt se nazývá „Platforma pokročilých mikroskopických a spektroskopických technik pro nano a mikrotechnologie“. Řešitelem tohoto projektu je Vysoké učení technické v Brně/Fakulta strojního inženýrství a spoluřešitelé jsou ON Semiconductor Czech republic, s.r.o., Optaglio s.r.o., Tescan Brno, s.r.o. a Ústav přístrojové techniky AVČR, v.v.i.. V rámci tohoto projektu pracujeme na návrhu interferometrického odměřovacího systému, laserového zdroje a detekční techniky pro souřadnicové odměřování stolu elektronového litografu. Překlad anotace This project is called "Platform of advanced microscopic and spectroscopic techniques for nano and microtechnology." The coordinator of this project is the Brno University of Technology / Faculty of Mechanical Engineering and the co-investigators are ON Semiconductor Czech Republic, Ltd., Optaglio Ltd., Tescan Brno, Ltd. And the Institute of Scientific Instruments of the CAS, v. v. i.. In this project we are working on a design of an interferometric measuring system, laser source and detection techniques for a coordinate measuring system of the table of the electron beam lithography. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2016
Počet záznamů: 1