Počet záznamů: 1
Souřadnicový interferometrický systém pro odměřování polohy vzorku elektronového litografu
- 1.Holá, Miroslava - Lazar, Josef - Čížek, Martin - Řeřucha, Šimon - Číp, Ondřej
Souřadnicový interferometrický systém pro odměřování polohy vzorku elektronového litografu.
[Coordinate interferometric system for measuring the position of a sample of the electron lithograph.]
Sborník příspěvků multioborové konference LASER 55. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2015, s. 16-17. ISBN 978-80-87441-16-9.
[LASER 55. Třešť (CZ), 21.10.2015-23.10.2015]
http://hdl.handle.net/11104/0250860
Počet záznamů: 1