Počet záznamů: 1
Souřadnicový interferometrický systém pro odměřování polohy vzorku elektronového litografu
SYS 0449271 LBL 03274^^^^^2200433^^^450 005 20240103211006.2 100 $a 20160229d m y slo 03 ba 101 0-
$a cze $d cze 102 $a CZ 200 1-
$a Souřadnicový interferometrický systém pro odměřování polohy vzorku elektronového litografu 215 $a 2 s. $c P 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0449269 $1 010 $a 978-80-87441-16-9 $1 200 1 $a Sborník příspěvků multioborové konference LASER 55 $v S. 16-17 $1 210 $a Brno $c Ústav přístrojové techniky AV ČR $d 2015 $1 541 1 $a Proceedings of multidisciplinary conference LASER 55 $z eng 541 1-
$a Coordinate interferometric system for measuring the position of a sample of the electron lithograph $z eng 610 0-
$a coherence optics 610 0-
$a interferometry 610 0-
$a coherent laser 700 -1
$3 cav_un_auth*0286699 $a Holá $b Miroslava $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101586 $a Lazar $b Josef $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0234516 $a Čížek $b Martin $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0259099 $a Řeřucha $b Šimon $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101538 $a Číp $b Ondřej $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1