Počet záznamů: 1  

Souřadnicový interferometrický systém pro odměřování polohy vzorku elektronového litografu

  1. SYS0449271
    LBL
      
    03274^^^^^2200433^^^450
    005
      
    20240103211006.2
    100
      
    $a 20160229d m y slo 03 ba
    101
    0-
    $a cze $d cze
    102
      
    $a CZ
    200
    1-
    $a Souřadnicový interferometrický systém pro odměřování polohy vzorku elektronového litografu
    215
      
    $a 2 s. $c P
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0449269 $1 010 $a 978-80-87441-16-9 $1 200 1 $a Sborník příspěvků multioborové konference LASER 55 $v S. 16-17 $1 210 $a Brno $c Ústav přístrojové techniky AV ČR $d 2015 $1 541 1 $a Proceedings of multidisciplinary conference LASER 55 $z eng
    541
    1-
    $a Coordinate interferometric system for measuring the position of a sample of the electron lithograph $z eng
    610
    0-
    $a coherence optics
    610
    0-
    $a interferometry
    610
    0-
    $a coherent laser
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0286699 $a Holá $b Miroslava $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0101586 $a Lazar $b Josef $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0234516 $a Čížek $b Martin $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0259099 $a Řeřucha $b Šimon $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0101538 $a Číp $b Ondřej $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.