Počet záznamů: 1
Souřadnicový interferometrický systém pro odměřování polohy vzorku elektronového litografu
- 1.Holá, M., Lazar, J., Čížek, M., Řeřucha, Š., Číp, O. Souřadnicový interferometrický systém pro odměřování polohy vzorku elektronového litografu. In: Sborník příspěvků multioborové konference LASER 55. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2015, s. 16-17. ISBN 978-80-87441-16-9.
Počet záznamů: 1