Počet záznamů: 1
Experimental study of the discharge in the low pressure plasma jet sputtering system
SYS 0437315 LBL 02322^^^^^2200361^^^450 005 20240103205319.1 014 $a 000313491700005 $2 WOS 014 $a 84872248870 $2 SCOPUS 017 70
$a 10.1002/ctpp.201310002 $2 DOI 100 $a 20141210d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a DE 200 1-
$a Experimental study of the discharge in the low pressure plasma jet sputtering system 215 $a 6 s. 300 $a není v KD 10/12/2014 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0256454 $1 011 $a 0863-1042 $e 1521-3986 $1 200 1 $a Contributions to Plasma Physics $v Roč. 53, č. 1 (2013), s. 10-15 $1 210 $c Wiley 610 0-
$a hollow cathode 610 0-
$a plasma jet sputtering system 610 0-
$a Langmuir probe 700 -1
$3 cav_un_auth*0016323 $a Klusoň $b J. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0299022 $a Kudrna $b P. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0307535 $a Kolpaková $b A. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0256704 $a Picková $b I. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0014958 $a Tichý $b M. $y CZ $4 070
Počet záznamů: 1