Počet záznamů: 1
Experimental study of the discharge in the low pressure plasma jet sputtering system
- 1.KLUSOŇ, J., KUDRNA, P., KOLPAKOVÁ, A., PICKOVÁ, I., HUBIČKA, Zdeněk, TICHÝ, M. Experimental study of the discharge in the low pressure plasma jet sputtering system. Contributions to Plasma Physics. 2013, 53(1), 10-15. ISSN 0863-1042. E-ISSN 1521-3986. Dostupné z: doi: 10.1002/ctpp.201310002
Počet záznamů: 1