Počet záznamů: 1
Ultra-fast three dimensional microanalysis using the scanning electron microscope equipped with xenon plasma focused ion beam
- 1.
SYSNO ASEP 0432741 Druh ASEP A - Abstrakt Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Zařazení RIV Není vybrán druh dokumentu Název Ultra-fast three dimensional microanalysis using the scanning electron microscope equipped with xenon plasma focused ion beam Tvůrce(i) Dluhoš, J. (CZ)
Petrenec, M. (CZ)
Peřina, P. (CZ)
Reinauer, F. (DE)
Kopeček, Jaromír (FZU-D) RID, ORCID
Hrnčíř, T. (CZ)
Jiruše, J. (CZ)Zdroj.dok. Proceedings of 18th International Microscopy Congress. - Prague : Czechoslovak Microscopy Society, 2014 / Hozák P. - ISBN 978-80-260-6721-4 Poč.str. 1 s. Forma vydání Online - E Akce International Microscopy Congress /18./ Datum konání 07.09.2014-12.09.2014 Místo konání Prague Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Klíč. slova SEM ; FIB ; xenon Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Anotace The three dimensional microanalysis became a widely accepted analytical method during the past few years, gaining from the ability to describe the materials structure and composition as it exists in real components. A high resolution scanning electron microscope (SEM) combined with a focused ion beam (FIB) is used for a high precision tomographical method based on FIB slicing and SEM observation of the slice. The FIB-SEM can be further equipped by analytical methods like energy-dispersive X-ray spectrometer (EDS) for elemental composition or electron backscattered diffraction analyzer (EBSD) for crystal orientation mapping, resulting in 3D microanalysis, i.e. 3D EDS and 3D EBSD. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2015
Počet záznamů: 1