Počet záznamů: 1
Measurement of coherence properties of scanning electron microscope
- 1.
SYSNO ASEP 0431335 Druh ASEP A - Abstrakt Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Zařazení RIV Není vybrán druh dokumentu Název Measurement of coherence properties of scanning electron microscope Tvůrce(i) Řiháček, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID
Lenc, M. (CZ)
Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 3 Zdroj.dok. 9th International Conference on Charged Particle Optics. Book of Abstracts. - Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v. v. i, 2014 - ISBN 978-80-87441-11-4
S. 65Poč.str. 1 s. Forma vydání Tištěná - P Akce International Conference on Charged Parrticle Optics /9./ Datum konání 31.08.2014-05.09.2014 Místo konání Brno Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova coherence ; diffraction ; scanning electron microscope Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP TE01020118 GA TA ČR - Technologická agentura ČR Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace Coherence of an electron beam is an important characteristic in the transmission electron microscope. It can be determined through the visibility of interference fringes in a diffraction pattern. On the other hand, the coherence of the beam is not usually important for the standard applications of a scanning electron microscope (SEM). Nevertheless it can be of importance for some specific cases. We make use of the experimental setup similar to that used in [1]. The arrangement is shown in Fig. 1, where the diffraction grating is approximately translationally invariant with respect to the both transverse directions. In the interpretation of diffraction pattern we consider the effect of both non-vanishing source size and finite energy spread of the electron beam. The chromatic aberration of the objective lens is taken into account as well. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2015
Počet záznamů: 1