Počet záznamů: 1
Scanning electron microscopy with low energy electrons
- 1.
SYSNO ASEP 0205668 Druh ASEP K - Konferenční příspěvek (lokální konf.) Zařazení RIV Stať ve sborníku Název Scanning electron microscopy with low energy electrons Tvůrce(i) Mika, Filip (UPT-D) RID, SAI, ORCID Zdroj.dok. Proceedings of the 9th Conference and Competition Student EEICT 2003 - Papers written by postgraduate students / Řezáč D. ; Zacios D.. - Brno : Brno University of Technology, 2003 - ISBN 80-214-2379-X
s. 485 - 489Poč.str. 5 s. Akce STUDENT EEICT 2003 Datum konání 24.04.2003 Místo konání Brno Země CZ - Česká republika Typ akce CST Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova scanning electron microscopy ; critical energy ; nonconductors Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP KJB2065301 GA AV ČR - Akademie věd CEZ AV0Z2065902 - UPT-D Anotace A method of scanning electron microscopy (SEM) of nonconductive specimens, based on measurement and utilisation of the critical energy of electron impact, is described in detail together with examples of its applications. The critical energy, at which the total electron yield curve crosses the unit level, is estimated on the base of measurement of the time development in the image signal from beginning of irradiation. The method is programmed and implemented as a module to the controlling software of the microscope type VEGA, where it secures fast search for the critical energy value. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2004
Počet záznamů: 1